微量气体分析仪

产品型号：GA-360E
更新时间：2024-03-18
产品介绍：微量气体分析仪
它是可以对用于半导体工艺的混合气体（N2、O2、He、Ar、H2、Air）中的微量不纯物进行超高灵敏度、高精度（检测感度可至10ppb）连续检测的装置。由于采用了交替流动调制方式，可以和零气体不断比较的同时进行检测，所以没有零点漂移，能够获得长期稳定的检测值。由于它通过19英寸RACK方式进行了集中，所以系统升级也很容易。适于半导体气体制造设备的质量管理。
在线留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339

产品介绍

微量气体分析仪

产品性能

1分析仪可以搭载CO/CO2/CH4中的2种成分，2种成分可同时以数字形式显示浓度。

采用了交替流动调制方式，没有零点漂移，可以获得长期稳定的连续检测值。

不需要进行光学调整，维护性得到了提高。

由于搭载有流量（压力）异常、断路器（电磁阀）、失火报警（GA-360E）、电源断开的自我诊断功能，所以能够迅速地在发生异常时采取措施。